具有增加的有效電容的柔性電容式微加工超聲換能器陣列
- 总结
- 一种电容式微加工超声换能器(CMUT)(200)，该电容器微加工超声换能器包括：操作地连接至顶部电极(210)的薄膜(220)和具有凹穴(230)的底部电极。在施加直流(DC)偏压时，所述薄膜(220)朝向所述底部电极挠曲，使得所述薄膜(220)的周边边缘区域接近所述底部电极，并且所述薄膜的所述周边边缘区域附近的静电力得到增加。
- 主要类别
- 生物医学
- 细分类别
- 医学影像
- 其他
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- 国家/地区
- 中国内地
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