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相位調製凹槽陣列微型光譜儀

Summary
相位調製凹槽陣列微型光譜儀包括一個構建在基底(3) 中的微型干涉儀二維陣列,每個微型干涉儀設有第一凹槽(1) ,在不同的微型干涉儀中的第一凹槽(1) 在基底(3) 裏的深度不同,在基底(3) 的下表面設有 CCD(4) ,在基底(3) 和 CCD(4) 中間有一層遮擋物(5) ;遮擋物(5) 把大部分 CCD 面元遮住,但在每一個微型干涉儀下方的遮擋物(5) 上留有透光孔,透光孔的孔徑小于 CCD(4) 所能探測到的入射光波的最小波長,透光孔位于第一凹槽下方的任意位置;在微型干涉儀 二維陣列的上方有兩個共焦的透鏡(6) ,在兩個共焦的透鏡(6) 之間的焦點處的遮光板中有一個小孔(7) 。解决了體積較大、對振動敏感、製作成本較高、分辨率較低、波長測量範圍較窄等技術問題。

Application No.
09/ENG/345
Others
Inventor(s): Professor HO Ho Pui Aaron, Department of Electronic Engineering Patent Status: Chinese Patent Pending Licensing Status: Available for licensing

Country/Region
Hong Kong

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