本發明是一種相位調製陣列微型光譜儀光譜復原方法,該方法爲:1) 對入射光進行光學整形,2) 對CCD 所得數據進行修正,3) 根據CCD 的頻率探測範圍[f ,f ] 以及微型干涉儀的數量n ,將該頻段分成n 等份,4) 根據事先測得的各個頻率的光a b通過各個微型干涉儀的透射率,以及各CCD實際所測值,組成一個綫性方程組; 5) 該綫性方程組用Tikhonov 正則化方法求解;6) 光譜輻射定標,得到入射光的光譜;7) 如果需要較高的光譜頻率分辨率,需要再次進行光譜復原。本方法解决了背景技術中入射光不均勻,測量頻率範圍寬的同時如何保證分辨率高且沒有明顯失真等技術問題。
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相位調製臺階陣列微型光譜儀,包括一個構建在基底(3) 上表面的微型干涉儀二維陣列,每個微型干涉儀設有第一臺階(1) ,第一臺階(1) 在不同的微型干涉儀中高度不同,在基底(3) 的下表面設有 CCD(4) ,在基底(3) 和 CCD(4) 中間有一層遮擋物(7) ;遮擋物(7) 把大部分 CCD 面元遮住,在每一個微型干涉儀下方的遮擋物(7) 上留有透光孔,透光孔的孔徑小于 CCD(4) 所能探測到的入射光波的最小波長,第一臺階的寬度與入射光波波長處于同一量級,第一臺階的最大高度也爲入射光波波長量級,在微型干涉儀二維陣列的上方有兩個共焦的透鏡(6) ,在兩個共焦的透鏡(6) 之間的焦點處的遮光.....
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相位調製凹槽陣列微型光譜儀包括一個構建在基底(3) 中的微型干涉儀二維陣列,每個微型干涉儀設有第一凹槽(1) ,在不同的微型干涉儀中的第一凹槽(1) 在基底(3) 裏的深度不同,在基底(3) 的下表面設有 CCD(4) ,在基底(3) 和 CCD(4) 中間有一層遮擋物(5) ;遮擋物(5) 把大部分 CCD 面元遮住,但在每一個微型干涉儀下方的遮擋物(5) 上留有透光孔,透光孔的孔徑小于 CCD(4) 所能探測到的入射光波的最小波長,透光孔位于第一凹槽下方的任意位置;在微型干涉儀 二維陣列的上方有兩個共焦的透鏡(6) ,在兩個共焦的透鏡(6) 之間的焦點處的遮光板中有一個小孔(7) 。解决了.....
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